1785年 德国物理学家冯•马鲁姆（Van Marum)用他的大功率电机进行试验时发现，当空气流过一串电火花时，就产生一种特殊的气味。

克鲁伊克仙克（Cruikshank)1801年观察到水电解过程中在阳极产生同样气味的气体。

    1840  年荷兰的科学家舒贝因（Schonbein)向慕尼黑科学院提交的一份备忘录中宣告了臭氧技术研发的发现，他在电解和火花放电试验过程中曾闻到一种独特的气味，他还指出，在闪电过后亦可闻到同样的气味。舒贝因断定这是一种新物质产生的气味，他把它命名为“Ozone”(臭氧技术研发)，取自希腊字“Ozein”一词，意为“ 难闻 ”。

    1845年，德•拉•里韦（De La Rive)和马里亚斯（Marignac)通过用纯氧电火花作用获得了臭氧技术研发。

1848 年亨特（Hunt)根据当时所了解的臭氧技术研发的性质得出他的判断，预言臭氧技术研发为三个原子氧。

1860 年安德鲁（ Andrew) 和泰特（Tait) 发现氧气在转化为臭氧技术研发的过程中体积减少。然而当臭氧技术研发转化为氧气时恢复到原有的体积，同时还发现少量的汞或金属银具有分解臭氧技术研发的能力。

1866 年索雷特（Soret) 利用通过电解得到臭氧技术研发和氧的混合气体进行试验，断定臭氧技术研发的密度是氧的1.5倍。为验证此结论，索雷特测定了臭氧技术研发向空气中扩散的速率，并将其与同一方法测定得的二氧化碳扩散速率相比。估算出臭氧技术研发与二氧化碳的密度比，发现它存在着与CO2:O3＝44:48完全一致的关系。

    1857年，冯•西门斯（Von Siemens)研制出了臭氧技术研发发生管，臭氧技术研发技术有了很大进步。

    1868年霍尔曼（Hollman）研究了臭氧技术研发的热化学特性。

此后1876年伯塞乐测定得出值为29.6kcal/mol。1908年杨（Jahn ）求出的值为34.0kcal/mol。由于臭氧技术研发是一种吸热化合物，使人们试图用热工艺来设计臭氧发生器，但这一设想由于臭氧技术研发在高温下快速分解而告失败。

      1873年舍内（Schone)得出溶解度值为0.366L/L（18℃）。

1874年卡里乌斯（Carius)得出值是0.834（1℃），1894年梅尔弗特（Mailfert）求出以下值：    因低温对臭氧技术研发稳定性的影响很大，所以在低温条件下产生臭氧技术研发的工艺研究引起人们的重视。豪特福伊勒（Hautefeuille)和夏皮斯（Chappuis)在极低温度下通过氧气放电得到高浓度臭氧技术研发，在0℃下得到含量为14.9％（质量）的臭氧技术研发，在-23℃下臭氧技术研发浓度为 21.4 ％。后

       1887年奥尔左斯基（Olszeuski) 测定了臭氧技术研发的沸点，在-106～-109℃范围内，1898年鲁斯特（Troost)测定为-111.9℃。现在臭氧技术研发沸点值采用的是-111.9℃。

直至1997年，FDA仅批准臭氧应用于瓶装水及其生产线消毒。为成功打开FDA在食品加工工业广泛应用臭氧的封锁线，电力研究院（FPRI）组织了食品界的科学和技术专家委员会，搜集并评估O3应用于食品储藏可靠性的背景，现状与前景。该委员会发布明确公告：臭氧储藏食品属于“GRAS”状况，即“一般认为安全”（注：美国食品上的官方标签），该委员会的报告已发表在科学杂志上（Graham等，1997），并在FDA备案。这些以及FDA放弃了GRAS申请（美国FDA，1997），成为在美国食品加工业广泛使用O3的基础，本文叙述了EPRI专家委员会调研考察的重要成果和讨论新章程的情况，以及美国O3与食品加工业的现状。

1997年中期美国的臭氧在加工食品GRAS方面公开声明，以及FDA对该声明的新立场，预计将大大开发臭氧在病因及其它许多国家（这些国家参考FDA标准）食品业的应用潜力，这已为许多国家的实例所证实。该声明为臭氧技术的里程碑。